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近日，合肥市科技局發布了2022年度第一批市科技重大專項“揭榜掛帥”項目立項名單（共9項），合肥物質院安光所光學遙感中心科研團隊申報的“集成電路高精密套刻檢測光學系統研制及應用”項目成功上榜，獲最高資助經費500萬元。
項目團隊聚焦半導體前道檢測的關鍵技術問題，瞄準該領域骨干企業急需的高精密光學測量系統核心技術需求，發揮多學科交叉及工程設計優勢，針對照明、成像和測焦三大模塊技術指標和任務，開展套刻量測設備中核心光學系統的研制，首次承擔“集成電路高精密套刻測量光學系統研制及應用”揭榜掛帥項目。
據悉，合肥市“揭榜掛帥”項目是針對科技發展戰略重大問題和基礎研究、核心技術薄弱環節，采取的科技創新舉措，有利于激發科技創新主體和廣大科技人員的創造潛能和創新效能，從而提高科技攻關的質量和效率。
